
| 昭和38年 3月 | 東京工業大学 理工学部 電気工学課程 卒業 |
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| 昭和40年 3月 | 東京工業大学 大学院理工学研究科 電気工学専攻 修士課程 修了 |
| 昭和43年 3月 | 東京工業大学 大学院理工学研究科 電気工学専攻 博士課程 修了 |
| 昭和43年 4月 | 東京工業大学 助手(精密工学研究所) |
| 昭和48年 11月 | 東京工業大学 助教授(精密工学研究所) |
| 昭和54年 4月 | ベル研究所(アメリカ) 客員研究員 兼務(昭和55年9月まで) |
| 昭和59年 8月 | 東京工業大学 教授(精密工学研究所) |
| 平成7年 4月 | 東京工業大学 精密工学研究所長 併任(平成10年3月まで) |
| 平成12年 4月 | 東京工業大学 附属図書館長 併任(平13年3月まで) |
| 東京工業大学 精密工学研究所附属マイクロシステム研究センター長 併任(平成13年3月まで) | |
| 平成13年 4月 | 東京工業大学 名誉教授 |
| 平成13年 4月 | 日本学術振興会 理事(平成19年9月まで) |
| 平成13年 6月 | 工学院大学 客員教授(平19年9月まで) |
| 平成19年 10月 | 東京工業大学 学長(現職) |